溅射靶材是一种通过溅射法生成薄膜的材料，由金属及陶瓷加工制造而成。
我们通过将熔化技术，烧结技术，合成技术以及加工技术进行技术融合，可以对各种素材，纯度以及形状的产品进行处理。
| 氧化物 | Al2O3,MgO,SiO2,TiO2,ZnO,La2O3 ITO,PZT,STO,LiCoO2,Li4Ti5O12,Li3PO4 |
|---|---|
| 碳化物 | SiC,B4C,WC |
| 其他化合物 | 氮化物，氟化物，磷化物，硫化物，硒化物 |
单位 [mm]
| 圆球型 | 直径 | φ50.8、φ76.2、φ101.6、φ127、φ152.4、φ203.2、 φ254、φ304.8、φ355.6、φ406.4、φ508、φ533.4 |
|---|---|---|
| 矩形 | 平面尺寸 | 127×304.8、127×381、127×508、127×558.8、152.4×508 |
| 厚度 | ｔ3、ｔ5、ｔ6.35 | |
