铌酸锂单晶薄膜

尺寸：4/6/8 英寸

厚度 (LT)：300-900nm

衬底：硅/碳化硅/石英/蓝宝石/铌酸锂

埋层：【材料：二氧化硅、厚度：1000-4000纳米】

特殊定制类产品

1、可提供不同规格型号的超平片产品

2、可提供掺镁掺铒等特殊规格

技术服务

公司可以为4寸/6寸/8寸晶圆提供多项技术服务：

注入

研磨

抛光

刻蚀

键合

LPCVD（氧化硅，多晶硅）

PECVD（氧化硅，氮化硅）

PVD（氧化硅）

高温热氧

金属沉积（Mo，Au，Al，Ti）