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光刻掩膜板
类别
材质类型
图形尺寸 LW（mm）
厚度 （mm）
最小线缝 （μm）
线缝尺寸 （μm）
光学密度 （OD）
垂直度 （urad）
总长精度 （μm）
干版
苏打玻璃
127~812.8
2.3/3.0/5.0
>10
±1.5
>5.0
< 3
±4
菲林
合成树脂
76.2~812.8
0.2
>12
±2
±5
其他相关
大尺寸铬版（>9英寸）
小尺寸铬版（≤9英寸）
苏打基材 石英基材
