光刻掩膜板

首页 > 科研耗材 > 光刻掩膜板

光刻掩膜板

大尺寸铬版（>9英寸）

类别	超高精度/高精度（228.6mm*228.6mm）					中精度/低精度（228.6mm*228.6mm）
类别	线缝尺寸（μm）	线缝精度（μm）	垂直度（urad）	总长精度（μm）	位置精度（μm）	线缝尺寸（μm）	线缝精度（μm）	垂直度（urad）	总长精度（μm）	位置精度（μm）
石英	≥1	≤0.5	≤0.5	＜0.3	≤0.1	≥3	≤0.5	≤0.5	≤0.5	≤0.2
苏打	≥1	≤0.5	≤0.5	＜0.3	≤0.1	≥3	≤0.5	≤0.5	≤0.5	≤0.2

其他相关

回到首页联系我们