光刻掩膜板

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光刻掩膜板

小尺寸铬版（≤9英寸）

类别	掩膜版超高精度/高精度（228.6mm*228.6mm）					掩膜版中精度/低精度（228.6mm*228.6mm）
类别	线缝尺寸（μm）	线缝精度（μm）	垂直度（urad）	总长精度（μm）	位置精度（μm）	线缝尺寸（μm）	线缝精度（μm）	垂直度（urad）	总长精度（μm）	位置精度（μm）
石英	≥1	≤0.5	≤0.5	＜0.3	≤0.1	≥3	≤0.5	≤0.5	≤0.5	≤0.2
苏打	≥1	≤0.5	≤0.5	＜0.3	≤0.1	≥3	≤0.5	≤0.5	≤0.5	≤0.2

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